UtilityScan" in Spanish would be: "Exploración de servicios públicos

Información básica

• Disponible en:
• Español
• English

Presentamos el sistema de medición de obleas, una solución innovadora diseñada específicamente para la industria de obleas. Con características avanzadas y tecnología de alta precisión, este sistema garantiza mediciones precisas del desplazamiento de la oblea.
Aquí están los detalles clave del producto:

1. Sensor de desplazamiento láser coaxial sin contacto: este sistema utiliza un sensor de desplazamiento láser coaxial sin contacto de tipo desplazamiento para realizar mediciones precisas.

2. Mecanismo de movimiento de pórtico de alta precisión con motor lineal: Con un mecanismo de movimiento de pórtico de alta precisión con motor lineal, este sistema garantiza un movimiento suave y preciso durante las mediciones.

3. Compatibilidad con varios tipos de obleas: El sistema es compatible con obleas pulidas y sin pulir, transparentes y no transparentes, lo que lo hace adecuado para una amplia gama de aplicaciones.

4. Flexibilidad en el tamaño de la oblea: El sistema admite muestras de oblea que van desde 1 a 8 pulgadas, con capacidad de extenderse hasta 300 mm (12 pulgadas) para productos más grandes.

5. Cojinete móvil flotante de aire coplanar: La inclusión de un cojinete móvil flotante de aire coplanar garantiza una planitud y suavidad excepcionales durante el movimiento de la muestra.

6. Medición del espesor de la oblea: este sistema puede medir el espesor de la oblea dentro de un rango de 10 um a 20 mm, lo que brinda versatilidad para diversos espesores de oblea.

7. Velocidad máxima de escaneo: el sistema cuenta con una velocidad máxima de escaneo de 1mu002Fs, lo que garantiza mediciones eficientes y oportunas.

8. Parámetros de medición integrales: El sistema de medición de oblea está equipado con parámetros de medición que incluyen espesor, TTV (variación de espesor total), LTV (variación de espesor local), TIR (desviación total indicada), sori, conicidad, arco y deformación, lo que lo hace adecuado para una amplia gama de necesidades de medición.

Con sus funciones avanzadas y su compatibilidad con diferentes tipos y tamaños de obleas, el sistema de medición de obleas es una herramienta esencial en la industria de las obleas, ya que proporciona mediciones precisas y confiables para el control de calidad y la optimización de procesos.