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Le système de mesure de plaquettes est spécialement conçu pour la mesure de capteurs de déplacement laser coaxiaux sans contact de type déplacement. Il utilise un mécanisme de mouvement de portique de haute précision à moteur linéaire pour des mesures exactes et précises. Ce système est compatible avec les plaquettes polies et non polies, transparentes et non transparentes, ce qui le rend très polyvalent pour une large gamme d'applications.

Le système est capable de traiter des échantillons de tranches de 1 à 8 pouces, avec la possibilité d'étendre sa compatibilité aux produits de 300 mm et 12 pouces. L'inclusion d'un roulement mobile flottant à air coplanaire garantit que l'échantillon se déplace avec une planéité et une douceur exceptionnelles, fournissant des résultats fiables et cohérents.

Avec une plage de mesure de 10 um à 20 mm, ce système peut mesurer avec précision l'épaisseur des plaquettes. De plus, il offre une vitesse de numérisation maximale de 1mu002Fs, permettant une acquisition et une analyse efficaces des données.

De plus, ce système est équipé de divers paramètres et normes de mesure, notamment l'épaisseur (TTV), la variation locale de l'épaisseur (LTV), la lecture de l'indicateur total (TIR), le sori, la conicité, l'arc et la déformation. Il est très polyvalent et peut être adapté pour répondre à des exigences de mesure spécifiques.

Dans l’ensemble, le système de mesure des plaquettes constitue une solution fiable et efficace pour la mesure précise des paramètres des plaquettes dans diverses industries.