\

Основна інформація

• Доступно на:
• Український
• English

Представляємо систему вимірювання пластин, інноваційне рішення, розроблене спеціально для виробництва пластин. Завдяки розширеним функціям і високоточним технологіям ця система гарантує точні вимірювання переміщення пластини.
Ось ключові деталі продукту:

1. Безконтактний коаксіальний лазерний датчик переміщення: у цій системі використовується безконтактний коаксіальний лазерний датчик переміщення для точних вимірювань.

2. Високоточний механізм переміщення портального лінійного двигуна: Завдяки високоточному механізму переміщення портального лінійного двигуна ця система забезпечує плавний і точний рух під час вимірювань.

3. Сумісність з різними типами пластин: система сумісна як з полірованими, так і з неполірованими, прозорими та непрозорими пластинами, що робить її придатною для широкого спектру застосувань.

4. Гнучкість у розмірі вафель: система підтримує зразки вафель розміром від 1 до 8 дюймів, з можливістю розширення до 300 мм (12 дюймів) для більших виробів.

5. Компланарний повітряний плаваючий рухомий підшипник: Включення копланарного повітряного плаваючого мобільного підшипника гарантує виняткову рівність і плавність під час руху зразка.

6. Виміряна товщина пластин: Ця система може вимірювати товщину пластин у діапазоні від 10 мкм до 20 мм, забезпечуючи універсальність для різної товщини пластин.

7. Максимальна швидкість сканування: система може похвалитися максимальною швидкістю сканування 1mu002Fs, що забезпечує ефективні та своєчасні вимірювання.

8. Комплексні параметри вимірювання. Система вимірювання пластин оснащена такими параметрами вимірювання, як товщина, TTV (Загальна варіація товщини), LTV (Локальна варіація товщини), TIR (Загальне вказівне биття), Sori, Taper, Bow і Warp, що робить її придатною для широкого діапазону вимірювань.

Завдяки розширеним функціям і сумісності з різними типами та розмірами пластин, система вимірювання пластин є важливим інструментом у виробництві пластин, що забезпечує точні та надійні вимірювання для контролю якості та оптимізації процесу.