UtilityScan" translated to Portuguese is "UtilidadeScan".

Informação básica

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Apresentando o Sistema de Medição de Wafer, uma solução inovadora projetada especificamente para a indústria de wafer. Com recursos avançados e tecnologia de alta precisão, este sistema garante medições precisas do deslocamento do wafer.
Aqui estão os principais detalhes do produto:

1. Sensor de deslocamento a laser coaxial sem contato: Este sistema utiliza um sensor de deslocamento a laser coaxial sem contato do tipo deslocamento para medições precisas.

2. Mecanismo de movimento do pórtico de alta precisão do motor linear: Com um mecanismo de movimento do pórtico de alta precisão do motor linear, este sistema garante um movimento suave e preciso durante as medições.

3. Compatibilidade com vários tipos de wafer: O sistema é compatível com wafers polidos e não polidos, transparentes e não transparentes, tornando-o adequado para uma ampla gama de aplicações.

4. Flexibilidade no tamanho do wafer: O sistema suporta amostras de wafer variando de 1 a 8 polegadas, com capacidade de extensão de até 300 mm (12 polegadas) para produtos maiores.

5. Rolamento móvel flutuante de ar coplanar: A inclusão de um rolamento móvel flutuante de ar coplanar garante planicidade e suavidade excepcionais durante o movimento da amostra.

6. Espessura medida do wafer: Este sistema pode medir a espessura dos wafers dentro de uma faixa de 10um a 20mm, proporcionando versatilidade para várias espessuras de wafer.

7. Velocidade máxima de digitalização: O sistema possui uma velocidade máxima de digitalização de 1m002Fs, garantindo medições eficientes e oportunas.

8. Parâmetros de medição abrangentes: O sistema de medição de wafer é equipado com parâmetros de medição, incluindo espessura, TTV (variação de espessura total), LTV (variação de espessura local), TIR (deslocamento total indicado), Sori, conicidade, arco e urdidura, tornando-o adequado para uma ampla gama de necessidades de medição.

Com seus recursos avançados e compatibilidade com diferentes tipos e tamanhos de wafers, o Sistema de Medição de Wafers é uma ferramenta essencial na indústria de wafers, fornecendo medições precisas e confiáveis ​​para controle de qualidade e otimização de processos.