Sonelastic HZ

Informação básica

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Descrição do produto:

O Sistema de Medição de Wafer é uma solução de ponta projetada especificamente para a indústria de wafer. Ele oferece uma gama de recursos e capacidades poderosas para garantir medições precisas e precisas.

Aqui estão os principais recursos do Sistema de Medição Wafer:

1. Tecnologia de medição: Utiliza um sensor de deslocamento a laser coaxial sem contato do tipo deslocamento para medições precisas.

2. Mecanismo de movimento do pórtico: Equipado com um mecanismo de movimento do pórtico de motor linear de alta precisão, garantindo movimentos suaves e precisos durante as medições.

3. Compatibilidade: Projetado para medir wafers polidos e não polidos, transparentes e não transparentes, tornando-o versátil para diversas aplicações.

4. Compatibilidade de tamanho de wafer: Suporta amostras de wafer variando de 1 a 8 polegadas de diâmetro, com a opção de estender a capacidade para acomodar produtos maiores de 300 mm (12 polegadas).

5. Estabilidade aprimorada: Incorpora um sistema de rolamento móvel flutuante de ar coplanar, garantindo que a amostra do wafer se mova com planicidade e suavidade excepcionais, minimizando quaisquer distúrbios potenciais.

6. Faixa de medição: Capaz de medir a espessura de um wafer variando de 10 micrômetros a 20 milímetros, acomodando uma ampla gama de espessuras de wafer.

7. Velocidade máxima de digitalização: Oferece uma velocidade de digitalização rápida de até 1 micrômetro por segundo, permitindo medições eficientes e que economizam tempo.

8. Parâmetros de medição: Fornece parâmetros de medição abrangentes, incluindo espessura, variação de espessura total (TTV), variação de espessura local (LTV), leitura total do indicador (TIR), sori, conicidade, curvatura e deformação. Ele segue os padrões da indústria para essas medições.

O Sistema de Medição de Wafer é uma ferramenta indispensável para a indústria de wafer, permitindo medições precisas e precisas de diversas propriedades de wafer. Seja para pesquisa e desenvolvimento ou para fins de controle de qualidade, este sistema oferece confiabilidade, versatilidade e eficiência em medições de wafers.