UtilityScan" can be translated to German as "Dienstprogrammscan".

Grundinformation

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Wir stellen das Wafer-Messsystem vor, eine innovative Lösung, die speziell für die Wafer-Industrie entwickelt wurde. Mit fortschrittlichen Funktionen und hochpräziser Technologie garantiert dieses System genaue Messungen der Waferverschiebung.
Hier die wichtigsten Details zum Produkt:

1. Berührungsloser Koaxial-Laser-Wegsensor: Dieses System nutzt einen berührungslosen Koaxial-Laser-Wegsensor vom Wegtyp für präzise Messungen.

2. Hochpräziser Portalbewegungsmechanismus mit Linearmotor: Mit einem hochpräzisen Portalbewegungsmechanismus mit Linearmotor gewährleistet dieses System eine reibungslose und genaue Bewegung während der Messungen.

3. Kompatibilität mit verschiedenen Wafertypen: Das System ist sowohl mit polierten als auch unpolierten, transparenten und nicht transparenten Wafern kompatibel und eignet sich daher für eine Vielzahl von Anwendungen.

4. Flexibilität bei der Wafergröße: Das System unterstützt Waferproben von 1 bis 8 Zoll und kann für größere Produkte auf bis zu 300 mm (12 Zoll) erweitert werden.

5. Koplanares Luft-Schwimmlager: Der Einsatz eines koplanaren Luft-Schwimmlagers garantiert außergewöhnliche Ebenheit und Laufruhe während der Probenbewegung.

6. Gemessene Waferdicke: Dieses System kann die Dicke von Wafern in einem Bereich von 10 µm bis 20 mm messen und bietet so Vielseitigkeit für verschiedene Waferdicken.

7. Maximale Scangeschwindigkeit: Das System verfügt über eine maximale Scangeschwindigkeit von 1mu002Fs und gewährleistet so effiziente und zeitnahe Messungen.

8. Umfassende Messparameter: Das Wafer-Messsystem ist mit Messparametern wie Dicke, TTV (Total Thickness Variation), LTV (Local Thickness Variation), TIR (Total Indicated Runout), Sori, Taper, Bow und Warp ausgestattet und eignet sich somit für eine Vielzahl von Messanforderungen.

Mit seinen erweiterten Funktionen und der Kompatibilität mit verschiedenen Wafertypen und -größen ist das Wafer-Messsystem ein unverzichtbares Werkzeug in der Waferindustrie und liefert genaue und zuverlässige Messungen zur Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung.